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立式氢气炉技术参数表格
  • 用途及特点
  • 规格参数
     产品应用
     
    本设备供光电成像器件中零部件、坡莫合金和各种电真空器件在真空中退火、焊接、除气、及表面净化处理用。
         型号    
          Mode    
           技术参数  
      Technical Data   
    L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(无油) L1122Ⅱ-1
    ******加热温度(空炉 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
    额定工作温度
    Rated Working Temperature
    1200℃ 1100℃ 2100℃
    加热方式
    Heating Mode
    钨杆组(一段加热)Tungsten Rods 钨杆组(一段加热)Tungsten Rods 钽皮
    Tantalum sheet
    炉温均匀性
    Furnace Temperature Uniformity
    ±5℃ ±5℃ ±5℃
    炉膛尺寸
    Furnace Chamber Dimension
    Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
    控温精度
    Temperature Control Precision
    ±1℃ ±1℃ ±1℃
    空载室温到工作温度时间
    From Room Temperature to working temperature
    < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
    真空系统
    Vacuum System
    扩散泵系统
    Diffusion Pump System
    分子泵系统
    Turbo Pump System
    分子泵系统
    Turbo Pump System
    极限真空(空炉)
    Ultimate Pressure(no-load)
    5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
    工作真空度
    Working Vacuum
    5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
    压升率
    Pressure Rise Rate
    0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
    冷却水压
    Cooling Water Pressure
    0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
    总重量
    Total Weight
    1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
    设备总功率
    Total Power
    30 KW 22 KW 30 KW